近日，中科富海旗下控股子公司安徽中科昊海氣體科技有限公司投資建設的氪氙精制裝置一次開車成功，產出的氪氣、氙氣純度99.9999%以上，均高于國標高純氪氙標準。

安徽中科昊海氣體科技有限公司成立于2019年1月，位于安徽省阜陽市潁東區，主要投資建設高純特種電子氣體項目和高端綠色氫能項目。其中高純特種電子氣體項目首期工程建設一套20Nm3/h氖氦精制裝置和一套400Nm3/h氪氙精制裝置。其中，氖氦精制裝置于2020年底完成安裝，3月調試一次開車成功，氦氖產品純度99.9999%；氪氙精制裝置于2021年初完成安裝，日前一次調試成功，產出氪氙產品純度99.9999%。至此，中科富海氖氦氪氙精制裝置已全部實現成功投產，助力半導體等高精尖產業的快速發展。

中科富海****采用自主研發、獨立設計、成功集成氦氖氪氙精制裝置。該裝置采用整體撬裝式結構，所有組件在工廠內一次整體安裝完畢，并經嚴格檢漏后出廠，大大減少現場施工量，有效保證產品制造質量。

氦氖氪氙裝置的成功投產，成為中科富海在稀有氣體領域的重大突破與重要里程碑，將滿足我國航天、醫學、電子、暗物質研究等領域應用發展需求。（氣體分離）

來源：CGMA

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